具有原子分辨率的扫描透射电子显微镜 (STEM) 数据可以包含有关晶体材料结构的大量信息060568。通常，由于原子柱数量众多且由不同元素组成的子晶格的强度差异很大，因此很难提取该信息。在这项工作中，我们提出了一个免费开源软件工具，用于使用二维椭圆高斯分布分析 STEM 图像中原子柱的位置和形状。该软件在钙钛矿氧化物结构的变体上进行了测试。通过首先拟合最强的原子列，然后减去它们，可以获得所有投影子晶格的信息。由此，我们可以从钙钛矿氧化物异质结构的环形暗场图像中提取A-阳离子柱的晶格参数和形状的变化。使用环形明场图像，还可以量化同一异质结构中氧柱位置的变化。比较使用标准采集获得的 STEM 数据和使用非刚性配准后平均图像堆栈获得的 STEM 图像之间确定原子柱位置的精度。
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